半導(dǎo)體行業(yè)解決方案之LC和SEC分離技術(shù)的應(yīng)用案例

2024-04-26 09:31:26

針對(duì)半導(dǎo)體工藝流程使用到的各種高分子組分，使用GPC（凝膠滲透色譜）或APC（超高效聚合物色譜）進(jìn)行相對(duì)分子量表征是必備的分析手段。而針對(duì)小分子組分的色譜分離，液相色譜的拆分必不可少。合作伙伴禾川化學(xué)，在其

【案例分享】分析技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用中，分享了大量利用ACQUITY Arc UHPLC系統(tǒng) 和GPC/APC針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用方案，快來(lái)***睹為快吧。

分析技術(shù)的需求

***內(nèi)新材料相關(guān)產(chǎn)品技術(shù)發(fā)展比***外晚，尤其是半導(dǎo)體、新能源等行業(yè)。如何將先進(jìn)的分析方法用于卡脖子行業(yè)的新品研發(fā)中，解決企業(yè)遇到的具體問(wèn)題？

先進(jìn)材料分析的重點(diǎn)在于：

① 卡脖子行業(yè)原材料的采購(gòu)受控，價(jià)格高且***外長(zhǎng)期壟斷，如何通過(guò)測(cè)試做***內(nèi)尋找材料，進(jìn)行***產(chǎn)化的替代？

② 產(chǎn)品質(zhì)量事故及客戶質(zhì)量投訴調(diào)查，通過(guò)分析，可以快速查找異物或者不良產(chǎn)生原因，發(fā)現(xiàn)真正原因并及時(shí)挽回?fù)p失；

③ 運(yùn)用科學(xué)合理的分析手段，對(duì)標(biāo)***產(chǎn)品，進(jìn)行“配方逆向工程”，目的是積累科技情報(bào)，為研發(fā)提供思路；

④ 將分析與研發(fā)相結(jié)合，讓分析參與新項(xiàng)目工業(yè)化轉(zhuǎn)化，深入?yún)⑴c研發(fā)，持續(xù)創(chuàng)新與改進(jìn)，開(kāi)拓分析技術(shù)領(lǐng)域的新方法。

半導(dǎo)體行業(yè)痕量分析技術(shù)

智能手機(jī)、云計(jì)算、物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)以及自動(dòng)駕駛汽車的發(fā)展持續(xù)推動(dòng)著對(duì)半導(dǎo)體材料的需求，為滿足對(duì)半導(dǎo)體器件的更高性能要求并提高器件質(zhì)量，必須在生產(chǎn)過(guò)程中控制硅片的污染。

痕量***詞的含義隨著痕量分析技術(shù)的發(fā)展有所變化，痕量分析包括測(cè)定痕量元素在試樣中的總濃度，及用探針技術(shù)測(cè)定痕量元素在試樣中或試樣表面的分布狀況。半導(dǎo)體行業(yè)中所使用的試劑***般是“電子***試劑”、“超凈高純化學(xué)試劑”等，也就是濕電子化學(xué)品，其主體成分純度大于99.99%，雜質(zhì)離子和微粒數(shù)符合嚴(yán)格要求的化學(xué)試劑，其中雜質(zhì)離子的含量控制在ppb甚至ppt***別，因此測(cè)試痕量物質(zhì)的儀器選擇很重要。

目前半導(dǎo)體相關(guān)測(cè)試主要有以下幾種方法：